In-situ Observation of Surface Blistering in Silicon by Deuterium and Helium Ion Irradiation
In-situ Observation of Surface Blistering in Silicon by Deuterium and Helium Ion Irradiation
复制标题
氘和氦离子辐照原位观察硅表面起泡
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hojou
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Igarashi;S.Muto;T.Tanabe;J.Aihara;K.Hojou
