Hiroshi Tsuji: "Negative-Ion Production of Reactive Elements from Compound Gases in the RF Plasma-Sputter-Type Heavy Ngative-Ion Source" Ion Implantatin Technology-96. IEEE96TH8182. 334-337 (1997)
Hiroshi Tsuji: "Negative-Ion Production of Reactive Elements from Compound Gases in the RF Plasma-Sputter-Type Heavy Ngative-Ion Source" Ion Implantatin Technology-96. IEEE96TH8182. 334-337 (1997)
复制标题
Hiroshi Tsuji：“在射频等离子体溅射型重负离子源中从复合气体中产生活性元素的负离子”离子注入技术-96。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
