2色で2次元面内変位計測可能な正弦波位相変調干渉計の開発
2色で2次元面内変位計測可能な正弦波位相変調干渉計の開発
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开发能够使用两种颜色测量二维面内位移的正弦相位调制干涉仪
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
明田川正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横山琢弥,大塚建斗;樋口雅人;韋 冬;明田川正人
