超磁歪素子の自己検知機能を用いた微小位置決め機構

超磁歪素子の自己検知機能を用いた微小位置決め機構
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利用超磁致伸缩元件自感知功能的微定位机构

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
田村勇樹,澤野宏,吉岡勇人,新野秀憲
田村勇樹,澤野宏,吉岡勇人,新野秀憲
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Siew Leng Tan;Yuki Shimizu;Takayuki Meguro;So Ito;and Wei Gao;田村勇樹,澤野宏,吉岡勇人,新野秀憲

文献摘要

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