SiCの溶融アルカリを用いた研磨加工に関する研究

SiCの溶融アルカリを用いた研磨加工に関する研究
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熔融碱抛光SiC的研究

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木秀樹
鈴木秀樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
金子祥大;山田洋平;池野順一;鈴木秀樹

文献摘要

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