Effect of oxygen on the sputtering of aluminium targets bombarded with argon ions
Effect of oxygen on the sputtering of aluminium targets bombarded with argon ions
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氧对氩离子轰击铝靶材溅射的影响
DOI：
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发表时间：
1973
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
G. Slodzian
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Bernheim;G. Slodzian
