異なる疲労機構に基づくシリコン微小構造物の寿命評価モデルの比較
異なる疲労機構に基づくシリコン微小構造物の寿命評価モデルの比較
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基于不同疲劳机制的硅微结构寿命评估模型比较
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神谷庄司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平川創;泉隼人;生津資大;神谷庄司
