熔石英元件抛光加工亚表面缺陷的检测
熔石英元件抛光加工亚表面缺陷的检测
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陈贤华
中科院分区：
文献类型：
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作者：
朱本温;王景贺;侯晶;陈贤华
