K.Sasaki: "Vacuum ultraviolet absorption spectriscopy for absolute density measurements of flurine atoms in fluorocarbon plasmas" Appl.Phys.Lett.70・11(掲載予定). (1997)
K.Sasaki: "Vacuum ultraviolet absorption spectriscopy for absolute density measurements of flurine atoms in fluorocarbon plasmas" Appl.Phys.Lett.70・11(掲載予定). (1997)
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K.Sasaki：“用于氟碳等离子体中氟原子绝对密度测量的真空紫外吸收光谱”Appl.Phys.Lett.70·11（待出版）（1997年）。
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