Characteristics of DLC films deposited by pseudo-spark discharge PE-CVD with different substrate bias voltages
Characteristics of DLC films deposited by pseudo-spark discharge PE-CVD with different substrate bias voltages
复制标题
不同衬底偏压下赝火花放电PE-CVD沉积DLC薄膜的特性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Seiji Mukaigawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takaharu Kamada;Masayuki Watanabe;Yoshitaka Nakamura;Seiji Mukaigawa
