Structural studies of amorphous and crystallized tungsten nitride thin films by EFED, XRD and TEM
Structural studies of amorphous and crystallized tungsten nitride thin films by EFED, XRD and TEM
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通过 EFED、XRD 和 TEM 对非晶和结晶氮化钨薄膜进行结构研究
DOI：
10.1016/s0169-4332(00)00508-0
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发表时间：
2000
影响因子：
6.7
通讯作者：
Y. Mai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yaogen Shen;Y. Mai
