T字型支持梁を有する2軸回転MEMSスキャナにおける共振周波数比の設計
T字型支持梁を有する2軸回転MEMSスキャナにおける共振周波数比の設計
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T型支撑梁两轴旋转MEMS扫描仪谐振频率比设计
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩瀬英治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
黒澤蓮;岩瀬英治
