ローラに被覆した二硫化モリブデンスパッタ膜の寿命に及ぼす結晶配向性の影響
ローラに被覆した二硫化モリブデンスパッタ膜の寿命に及ぼす結晶配向性の影響
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晶体取向对辊上二硫化钼溅射薄膜寿命的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
兼田〓宏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
砂原賢治;池田満昭;松田健次;兼田〓宏
