Y.Osano, T.Nomura, K.MIki, K.Ono: "A numerical analysis of rf discharges and particle transport in the sheath and microstructures on the substrate"Proceedings of the 16th International Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-16,Taormina, Italy, July 2003. Pap

Y.Osano, T.Nomura, K.MIki, K.Ono: "A numerical analysis of rf discharges and particle transport in the sheath and microstructures on the substrate"Proceedings of the 16th International Symposium on Plasma Chemistry, ISPC-16,Taormina, Italy, July 2003. Pap
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Y.Osano、T.Nomura、K.MIki、K.Ono:“射频放电和鞘层中的粒子传输以及基底上的微结构的数值分析”第 16 届国际等离子体化学研讨会论文集,ISPC-16,陶尔米纳

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