Morphology of sputter deposited Al alloy films
Morphology of sputter deposited Al alloy films
复制标题
溅射沉积铝合金薄膜的形貌
DOI：
10.1016/s0040-6090(98)01466-7
复制
发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
K. Takagi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Onishi;E. Iwamura;K. Takagi
