MEMS技術を応用したマイクロ交流圧力源搭載形2自由度ERアクチュエータシステムに関する研究
MEMS技術を応用したマイクロ交流圧力源搭載形2自由度ERアクチュエータシステムに関する研究
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采用MEMS技术的配备微交流压力源的二自由度ER执行器系统研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三好智也，吉田和弘，金俊完，嚴祥仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Manabu Aoyagi;Shuta Nakajima;Hidekazu Kajiwara;Hideki Tamura;and Takano Takano;三好智也，吉田和弘，金俊完，嚴祥仁
