大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の高密着性極薄銅メタライジング
大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の高密着性極薄銅メタライジング
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采用常压等离子体化学液相沉积法在含氟聚合物表面进行高附着力的超薄铜金属化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋山弘貴;是津信行;山村和也
