シミュレーションによるアモルファスSiO2/SiC界面の生成 ~温度条件による界面構造の違い~
シミュレーションによるアモルファスSiO2/SiC界面の生成 ~温度条件による界面構造の違い~
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通过模拟生成非晶态 SiO2/SiC 界面〜根据温度条件的界面结构差异〜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉川正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮下敦巳;大沼敏治;岩沢美佐子;土田秀一;吉川正人
