Ha Taeho,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲,石丸伊知郎: "光散乱シミュレーションによるSiウエハ酸化膜欠陥評価法の検討"2000年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 大阪. 399-400 (2000)
Ha Taeho,三好隆志,高谷裕浩,高橋哲,石丸伊知郎: "光散乱シミュレーションによるSiウエハ酸化膜欠陥評価法の検討"2000年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 大阪. 399-400 (2000)
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Ha Taeho、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi、Ichiro Ishimaru:“利用光散射模拟的硅晶片氧化膜缺陷评估方法的研究”日本磨料加工学会2000年学术会议论文集(2000年)。 )
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