Design and performance of MEMS multifunction optical device using a combined in-plane and out-of-plane motion of dual-slope mirror
Design and performance of MEMS multifunction optical device using a combined in-plane and out-of-plane motion of dual-slope mirror
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采用双斜率镜平面内和平面外组合运动的 MEMS 多功能光学器件的设计和性能
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chen, Q.H.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wu, W.G.;Wang, Z.Q.;Hao, Y.L.;Yan, G.Z.;Chen, Q.H.
