AlN薄膜への転位導入と伝搬挙動の観察

AlN薄膜への転位導入と伝搬挙動の観察
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将位错引入 AlN 薄膜并观察传播行为

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通讯作者:
米永一郎
米永一郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
徳本有紀;沓掛 健太朗;大野裕;米永一郎

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