フロン系プラズマのシミュレーションと実験的検証
フロン系プラズマのシミュレーションと実験的検証
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碳氟等离子体的模拟与实验验证
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中正明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村圭二;板津史明;田中正明
