UV–ozone precleaning and forming gas annealing applied to wet thermal oxidation of p-type silicon carbide
UV–ozone precleaning and forming gas annealing applied to wet thermal oxidation of p-type silicon carbide
复制标题
UV-臭氧预清洗和合成气退火在p型碳化硅湿热氧化中的应用
DOI：
10.1016/s1369-8001(98)00048-1
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发表时间：
1999
影响因子：
4.1
通讯作者：
S. Wong
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Zetterling;M. Östling;C. Harris;P. Wood;S. Wong
