MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション
MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション
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MEMS负性抗蚀剂的粗粒度分子动力学模拟
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田畑修
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平井義和;柳生裕聖;牧野圭秀;上杉晃生;菅野公二;土屋智由;田畑修
