Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region
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复制标题
用于 40 nm 波长区域聚焦物镜的多层反射镜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and M. Yanagihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Toyoda;Y. Tamaru;S. Mori;K. Sawada;Y. Fu;E. J. Takahashi;A. Suda;F. Kannari;K. Midorikawa;and M. Yanagihara
