高誘電体SrTa2O6をゲート絶縁膜に用いた高性能酸化物薄膜トランジスタ
高誘電体SrTa2O6をゲート絶縁膜に用いた高性能酸化物薄膜トランジスタ
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采用高介电常数SrTa2O6作为栅绝缘膜的高性能氧化物薄膜晶体管
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内山潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
髙橋崇典;宝賀剛;宮永良子;藤井茉美;浦岡行治;内山潔
