宮崎 則幸: "CZ法によるシリコン単結晶成長過程の熱応力解析" 日本機械学会論文集,A編.

宮崎 則幸: "CZ法によるシリコン単結晶成長過程の熱応力解析" 日本機械学会論文集,A編.
复制标题

Noriyuki Miyazaki:“CZ法硅单晶生长过程的热应力分析”日本机械工程师学会会议录,A版。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献