T.Watanabe,Y.Yamashita,T.Kozawa,Y.Yoshida and S.Tagawa: "Acid Generation Process by Radiation-Induced Reaction in Chemically Amplified Resist Films." J.Vac.Sci.Technol.B12. 3879-3883 (1994)
T.Watanabe,Y.Yamashita,T.Kozawa,Y.Yoshida and S.Tagawa: "Acid Generation Process by Radiation-Induced Reaction in Chemically Amplified Resist Films." J.Vac.Sci.Technol.B12. 3879-3883 (1994)
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T.Watanabe、Y.Yamashita、T.Kozawa、Y.Yoshida 和 S.Takawa：“化学放大抗蚀剂薄膜中辐射诱导反应的酸生成过程”。
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