Detection of carbon contamination in EUV multilayer mirrors based on secondary electrons
Detection of carbon contamination in EUV multilayer mirrors based on secondary electrons
复制标题
基于二次电子的 EUV 多层镜中碳污染检测
DOI：
10.1016/j.vacuum.2023.112869
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Zhen Zhang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kewei Chai;Qipeng Lu;Yuan Song;Xuepeng Gong;Ao Li;Zhen Zhang
