A Microgripper with Integrated Force Feedback Sensor for Manipulations in Air and in a SEM Vacuum Chamber
A Microgripper with Integrated Force Feedback Sensor for Manipulations in Air and in a SEM Vacuum Chamber
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带有集成力反馈传感器的微夹具，用于在空气中和 SEM 真空室中进行操作
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Bradley J. Nelson
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Felix Beyeler;Gilgueng Hwang;Melanie Dafflon;Reymond Clavel;Hideki Hashimoto;Bradley J. Nelson
