小沼義治,外村武彦,山川博,中尾真人,上村喜一: "Y_2O_3添加ZrO_2スパッタ膜の作製と評価" 電気学会論文誌A. 109ーA. 318-322 (1989)

小沼義治,外村武彦,山川博,中尾真人,上村喜一: "Y_2O_3添加ZrO_2スパッタ膜の作製と評価" 電気学会論文誌A. 109ーA. 318-322 (1989)
复制标题

Yoshiharu Onuma、Takehiko Tonomura、Hiroshi Yamakawa、Masato Nakao、Kiichi Uemura:“Y_2O_3 掺杂 ZrO_2 溅射薄膜的制备和评估”IEEJ Transactions A. 318-322 (1989)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献