100-mu m-Scale High-Detectivity Infrared Detector With Thermopile/Absorber Double-Deck Structure Formed in (111) Silicon
100-mu m-Scale High-Detectivity Infrared Detector With Thermopile/Absorber Double-Deck Structure Formed in (111) Silicon
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具有 (111) 硅热电堆/吸收体双层结构的 100 微米级高检测率红外探测器
DOI：
10.1109/ted.2021.3117190
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发表时间：
2021
影响因子：
3.1
通讯作者：
Li Xinxin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xue Dan;Zhou Wenhan;Zhang Haozhi;Ni Zao;Li Wei;Wang Jiachou;Li Xinxin
