21世紀版・薄膜作製応用ハンドブック
21世紀版・薄膜作製応用ハンドブック
复制标题
21世纪版薄膜制造应用手册
DOI：
--
复制
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
赤木和夫(分担執筆)
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Matsuda H;Nishimori K;赤木和夫(分担執筆)
