Roles of SiH_4 and SiF_4 in growth and structural changes of poly-Sifilms
Roles of SiH_4 and SiF_4 in growth and structural changes of poly-Sifilms
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SiH_4和SiF_4在多晶硅薄膜生长和结构变化中的作用
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.H.Adel
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.;Uendo;H.;Yamazaki;S.;Narita;T.;Momma;Y.;Saito;加島 篤;A.Kajima;加島 篤;A.Kajima;A.M.Ali;A.H.Adel
