半絶縁性4H-SiC基板上β-FeSi_2膜の電気伝導特性
半絶縁性4H-SiC基板上β-FeSi_2膜の電気伝導特性
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半绝缘4H-SiC衬底上β-FeSi_2薄膜的导电性能
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平林康男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋山賢輔;金子智;小沢武;平林康男
