Microwave-assisted ultra-high-speed plasma CVD and its application to advanced DLC coating system
Microwave-assisted ultra-high-speed plasma CVD and its application to advanced DLC coating system
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微波辅助超高速等离子体CVD及其在先进DLC涂层系统中的应用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Kousaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ishida;and A. Osuka;H. Kousaka
