Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)
Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)
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Rückführbare Koordinmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele(微型零件的可追踪坐标计量:基本原理和示例)
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
U. Neuschaefer
中科院分区:
文献类型:
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作者:
F. Härtig;U. Neuschaefer
Der Artikel beschreibt die Rückführung von Mikrobauteilen in der Koordinatenmesstechnik. Mikrobauteile sind dabei 1D- bis 3D-Objekte, die Geometrien mit Abmessungen von wenigen μm bis ca. 1 mm aufweisen. Es werden Messgeräte, Sensoren und Normale beschrieben sowie Hinweise auf zukünftige Entwicklungen gegeben. The article deals with traceable coordinate metrology for microparts. Microparts are 1D to 3D objects with structure sizes from a few μm up to approx. 1 mm. Measurement devices, sensors, and test artefacts are described. Advices to future developments are given.