Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)

Rückführbare Koordinatenmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele (Traceable Coordinate Metrology for Microparts: Basic Principles and Examples)
复制标题

Rückführbare Koordinmesstechnik für Mikrobauteile: Grundlagen und Beispiele(微型零件的可追踪坐标计量:基本原理和示例)

DOI:
--
复制
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
U. Neuschaefer
U. Neuschaefer
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
F. Härtig;U. Neuschaefer

文献摘要

被引文献

相似文献

这是一件非常重要的事情,因为这是一件非常重要的事情。这是一种新的3D-BIS 3D-Objekte,其几何形状为μm Bis约1毫米。这是Messgeräte,Sensoren和Normer Beschrieben Sowie Hinweise auf Zukünftige Entwicklugen Gegeben。介绍了微型零件的可溯源坐标测量方法。微型零件是一维到三维的物体,其结构尺寸从几个μm到大约。1毫米。描述了测量设备、传感器和测试人工制品。并对今后的发展提出了建议。
Der Artikel beschreibt die Rückführung von Mikrobauteilen in der Koordinatenmesstechnik. Mikrobauteile sind dabei 1D- bis 3D-Objekte, die Geometrien mit Abmessungen von wenigen μm bis ca. 1 mm aufweisen. Es werden Messgeräte, Sensoren und Normale beschrieben sowie Hinweise auf zukünftige Entwicklungen gegeben. The article deals with traceable coordinate metrology for microparts. Microparts are 1D to 3D objects with structure sizes from a few μm up to approx. 1 mm. Measurement devices, sensors, and test artefacts are described. Advices to future developments are given.