High-Order Mode Film Bulk Acoustic Wave Resonators Consisting of Polarity Inverted Multilayered GeAlN/AlN Films
High-Order Mode Film Bulk Acoustic Wave Resonators Consisting of Polarity Inverted Multilayered GeAlN/AlN Films
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由极性反转多层GeAlN/AlN薄膜组成的高阶模薄膜体声波谐振器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Kakio
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Sekimoto;M. Suzuki;and S. Kakio
