S.Wickramanayaka: "Variation of radial plasma density profile with the excitation frequency in a magnetron-type plasma" Jpn.J.Appl.Phys.37. 2035-2038 (1998)

S.Wickramanayaka: "Variation of radial plasma density profile with the excitation frequency in a magnetron-type plasma" Jpn.J.Appl.Phys.37. 2035-2038 (1998)
复制标题

S.Wickramanayaka:“磁控管型等离子体中径向等离子体密度分布随激发频率的变化”Jpn.J.Appl.Phys.37。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献