多阴极金属等离子体源的特性及应用研究
多阴极金属等离子体源的特性及应用研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王浪平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陆洋;解志文;王小峰;闫久春;黄磊;王浪平
