Sr2SiO4ターゲットで作製したSr2SiO4膜組成のアニール温度依存性
Sr2SiO4ターゲットで作製したSr2SiO4膜組成のアニール温度依存性
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使用 Sr2SiO4 靶材制备的 Sr2SiO4 薄膜成分的退火温度依赖性
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
今西啓司,谷脇将太,馬野光博,堀田育志,吉田晴彦, 新船幸二,小椋厚志,佐藤真一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
上岡 聡史;三宅 省三;吉田 晴彦;新船 幸二;佐藤 真一;堀田 育志;今西啓司,谷脇将太,馬野光博,堀田育志,吉田晴彦, 新船幸二,小椋厚志,佐藤真一