Size Effect of Large Deformable Nanopillars by Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition
Size Effect of Large Deformable Nanopillars by Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition
复制标题
聚焦离子束化学气相沉积大可变形纳米柱的尺寸效应
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Kogo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Tanaka;M. Shinkai;Y. Shibutani;Y. Kogo
