武山真弓 他 3名: "高信頼Cu配線のための微結晶ZrNバリヤの適用"電子情報通信学会技術研究報告. ED2001-45. 7-12 (2001)
武山真弓 他 3名: "高信頼Cu配線のための微結晶ZrNバリヤの適用"電子情報通信学会技術研究報告. ED2001-45. 7-12 (2001)
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Mayumi Takeyama等3人：“微晶ZrN阻挡层在高可靠性铜布线中的应用”IEICE技术研究报告ED2001-45（2001）。
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