Microstructure of AlN layer on(001)and(111)diamond substrates by metal organic vapor phase epitaxy
Microstructure of AlN layer on(001)and(111)diamond substrates by metal organic vapor phase epitaxy
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金属有机气相外延在(001)和(111)金刚石衬底上AlN层的显微结构
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
天野浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井村将隆;中島清美;廖梅勇;小出康夫;天野浩
