窒素プラズマ中エキシマレーザ照射による 金属窒化物の低温成膜の検討
窒素プラズマ中エキシマレーザ照射による 金属窒化物の低温成膜の検討
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氮等离子体准分子激光辐照低温沉积金属氮化物的研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
土屋 哲男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
袖山 和斗;西川 雅美;石橋 隆幸;中島 智彦;土屋 哲男
