T.Ohkawa, Y.Wakayama, S.Kobayashi, S.Sugawa, H.Aharoni, T.Ohmi: "The Effect of Organic Contaminations Molecular Weights in the Cleanroom Air on MOS Devices Degradation- a Controlled Laminar Air Flow Experiment"Extend Abstracts of the 2001 International Co
T.Ohkawa, Y.Wakayama, S.Kobayashi, S.Sugawa, H.Aharoni, T.Ohmi: "The Effect of Organic Contaminations Molecular Weights in the Cleanroom Air on MOS Devices Degradation- a Controlled Laminar Air Flow Experiment"Extend Abstracts of the 2001 International Co
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T.Ohkawa、Y.Wakayama、S.Kobayashi、S.Sukawa、H.Aharoni、T.Ohmi：“洁净室空气中有机污染物分子量对 MOS 器件退化的影响 - 受控层流气流实验”扩展摘要
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