フッ素樹脂を用いたアッシングによるSU8のエッチング
フッ素樹脂を用いたアッシングによるSU8のエッチング
复制标题
SU8的氟树脂灰化蚀刻
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子 智
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安井 学;本泉 佑;黒内 正仁;金子 智
