M.Ishida, H.Takao: "Microsensor Systems for High Temperature Environment Based on SOI Technology"Journal of The Surface Finishing Society of Japan. Vol.55 No.1. 10-16 (2004)
M.Ishida, H.Takao: "Microsensor Systems for High Temperature Environment Based on SOI Technology"Journal of The Surface Finishing Society of Japan. Vol.55 No.1. 10-16 (2004)
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M.Ishida、H.Takao：“基于SOI技术的高温环境微型传感器系统”日本表面处理学会杂志。
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