低温作製されたZrBx薄膜のCu配線への適用
低温作製されたZrBx薄膜のCu配線への適用
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低温制备ZrBx薄膜在铜布线中的应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野矢厚
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武山真弓;佐藤勝;野矢厚
