Study on Upgrade of the Magnetron Ion Source for High Current Operation of the Low Pressure IEC Device
Study on Upgrade of the Magnetron Ion Source for High Current Operation of the Low Pressure IEC Device
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低压IEC装置大电流工作磁控离子源升级研究
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kajiwara et al
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大木貴広;緒明佑哉;今井宏明;T. Kajiwara et al
